自动薄膜测厚仪CHY-U产品介绍

在工业中，薄膜的厚度有着非常重要的意义，因为它直接关系到薄膜材料能否正常工作。尤其在大规模集成电路生产工艺中，薄膜厚度的任何微小变化都会对集成电路的性能产生直接的影响。除此之外，薄膜材料的厚度也影响着材料的力学性能，透光性能，磁性能，热导率，表面结构等。

自动薄膜测厚仪CHY-U 

Sumspring三泉中石研发生产的CHY-U自动薄膜测厚仪适用于2mm范围内各种薄膜、复合膜、纸张、金属箔片等硬质和软质材料厚度的准确测量。仪器配备自动进样器，可一键实现全自动多点测量，除此之外，仪器还配置微型打印机，数据实时显示、自动统计并打印测试结果，可自动保存多达100组测试结果。

技术参数：      

测量范围：  0-2mm （其他量程可定制）

分辨率：    0.1um

测量速度：  10次/min（可调）

测量压力：  17.5±1kPa（薄膜）；100±1kPa（纸张）

接触面积：  50mm²（薄膜），200mm²（纸张） 注：薄膜、纸张任选一种      

进样步矩：  0 ～ 1300 mm(可调)

进样速度：  0 ～ 120 mm/s(可调)  

机器尺寸：  450mm×340mm×390mm (长宽高)   

重    量：    23Kg

工作温度：    15℃-50℃      

相对湿度：    ≤80%,无凝露    

试验环境：    无震动，无电磁干扰   

工作电源：    220V 50Hz　 

参照标准

GB/T6672、GB/T451.3、GB/T6547、ASTMD645、ASTMD374、ASTMD1777、TAPPIT411、ISO4593、ISO534、ISO3034、 DIN53105、DIN53353、JISK6250、JISK6328、JISK6783、JISZ1702、BS3983、BS4817     

产品配置 

标准配置：主机、标准量块、微型打印机

选用配置：软件、通信电缆、测量头、配重砝码、自动进样器

技术特征 

1.自动薄膜测厚仪CHY-U 配备微型打印机，数据实时显示、自动统计、打印，方便快捷地获取测试结果 ；

2.打印大小值、平均值及每次测量结果，方便用户分析数据 ；

3.仪器自动保存少于等于100组测试结果，随时查看并打印； 

4.标准量块标定,方便用户快速标定设备 ；

5.配备自动进样器，可一键实现全自动多点测量，误差小； 

6.自动薄膜测厚仪CHY-U 软件提供测试结果图形统计分析，准确直观地将测试结果展示给用户 ；

7.配备标准RS232接口，方便系统与电脑的外部连接和数据传输。